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2021年“中国机械工程学会会员日”活动 ——极端制造领域优秀科技成果故事宣传【选择性原子层沉积协同制造原理及方法】 - 分会活动 - 中国机械工程学会极端制造分会
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本课题发展了区域选择性原子层沉积方法，发现表面“自修饰”纳模板辅助的区域选择性沉积制造的形核机理，进一步提出表面能驱动的区域“自定位”生长内禀机制，提升了三维纳米结构在指定区域堆叠生长的可控性。展示了独特的选择性原子层沉积方法在纳米制造中原子级的可控精度，有望助力微电子制造领域减少对光刻依赖，简化工艺流程，提升可靠性,技术成果国际领先，先后获得日内瓦国际发明展金奖、特别金奖和湖北省技术发明一等奖等
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极端制造, 极端制造能场与材料相互作用, 极端制造加工技术与理论, 极端制造测量与表征, 极端性能装备及系统的设计及研发, 极端物理条件产生装置的制造
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2023-01-09
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